ガス検知器

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年5月
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