ガス検知器

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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