ガス検知器

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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