ガス検知器

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年5月
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