ガス検知器

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年5月
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