ガス検知器

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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