ガス検知器

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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