ガス検知器

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年5月
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