ガス検知器

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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