ガス検知器

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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