ガス検知器

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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