ガス検知器

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年5月
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