ガス検知器

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
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