ガス検知器

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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