ガスクロマトグラフ

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  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. 恒温槽　エスペック　PH-402

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年6月
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