オゾン濃度計

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  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

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  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年7月
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