エスペック

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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