エスペック

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年11月
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