エスペック

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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