エスペック

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年6月
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