エスペック

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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