イナートガスオーブン

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  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年9月
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