アニール炉

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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