2023年 5月

  1. 膜厚コントローラー（Deposition Controller）ライボルト（インフィコン）XTC/2-[M210108A19]

  2. アングルバルブ　ulvacアルバック製　型式 VULH40-[M210617A38]

  3. 電離真空計（イオンゲージ）ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]

  4. ゲートバルブ　HVA製　ICF114 & ICF86 & ICF70

  5. アングルバルブ　VAT製　型式26328-KA01-[M230411A03]

  6. ゲートバルブ　VAT製　ICF114-[M230411A23]

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550-[M220930A01]

  8. ヘリウムリークディテクター　アネルバ製（アルカテル）ASM110 TURBO CL-[M211130A06]

  9. ヘリウムリークディテクター　島津製作所　MSE-3200R-[M211218A01]

  10. イオンスパッタ装置　真空デバイス製　MSP-1S-[M221221A05]

  11. 冷却水循環装置（空冷インバーターチラー）EYELA製（東京理化器械）CAE-2000S

  12. 引張強度試験機（デジタルフォースゲージ）SHINPOシンポ製　FGN-5B（FOS-50VB-L）

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