2023年 5月
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膜厚コントローラー(Deposition Controller)ライボルト(インフィコン)XTC/2-[M210108A19]
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アングルバルブ ulvacアルバック製 型式 VULH40-[M210617A38]
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電離真空計(イオンゲージ)ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]
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ゲートバルブ HVA製 ICF114 & ICF86 & ICF70
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アングルバルブ VAT製 型式26328-KA01-[M230411A03]
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ゲートバルブ VAT製 ICF114-[M230411A23]
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550-[M220930A01]
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ヘリウムリークディテクター アネルバ製(アルカテル)ASM110 TURBO CL-[M211130A06]
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ヘリウムリークディテクター 島津製作所 MSE-3200R-[M211218A01]
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イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
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冷却水循環装置(空冷インバーターチラー)EYELA製(東京理化器械)CAE-2000S
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引張強度試験機(デジタルフォースゲージ)SHINPOシンポ製 FGN-5B(FOS-50VB-L)