ulvac
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ダイアフラム式真空ポンプ アルバック製 DA-241SE-[M220528A19]
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ロータリーポンプ アルバック製(ulvac)DV301-[M220303A20]
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP121-[M220930A11]
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M230411A01]
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スクロールポンプ アルバック製
型式:DIS-500 -
ロータリーポンプ(油回転真空ポンプ)アルバック
型式:GHD-030 -
ヘリウムコンプレッサー(クライオコンプレッサー) アルバック C30V [M210108A21]
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クライオポンプ アルバック製
型式:CRYO-U22H (M210108A34) -
クライオポンプ アルバック製
型式:CRYO-U6H (M210320A04) -
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製
型式:SD60V II/PMB001CM (M210114A16) -
スクロールポンプ アルバック製
型式:DIS-251 (M200414A02) -
ロータリーポンプ アルバック製
型式:D-950DK (M210108A26)