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1. 

   アングルバルブ　VAT製　型式26328-KA01-[M230411A03]

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   • 真空ポンプ
2. 

   ゲートバルブ　VAT製　ICF114-[M230411A23]

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   • 真空装置
3. 

   ダイアフラム式真空ポンプ　アルバック製　DA-241SE-[M220528A19]

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   • 真空ポンプ
4. 

   ロータリーポンプ　アルバック製（ulvac）DV301-[M220303A20]

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5. 

   ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP121-[M220930A11]

   • 【売却済み：過去の事例】
   • ロータリーポンプ
   • 真空ポンプ
6. 

   ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M230411A01]

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   • 真空ポンプ
7. 

   スクロールポンプ　アルバック製
   型式：DIS-500

   • 【売却済み：過去の事例】
   • スクロールポンプ
   • 真空ポンプ
8. 

   ロータリーポンプ（油回転真空ポンプ）アルバック
   型式：GHD-030

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   • ロータリーポンプ
   • 真空ポンプ
9. 

   ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー） アルバック　C30V [M210108A21]

   • クライオコンプレッサー
   • 真空ポンプ
10. 

    クライオポンプ　アルバック製
    型式：CRYO-U22H （M210108A34）

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11. 

    クライオポンプ　アルバック製
    型式：CRYO-U6H （M210320A04）

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12. 

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製
    型式：SD60V II／PMB001CM 　（M210114A16）

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