スパッタ装置

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年1月
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