スパッタ装置

  1. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  3. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  4. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  5. クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]

  6. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…

  7. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…

  9. イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…

  10. 光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…

  1. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  2. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  3. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  4. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  5. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  6. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  7. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  8. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  9. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

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