スパッタ装置

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  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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