スパッタ装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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