スパッタ装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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