スパッタ装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年5月
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