スパッタ装置

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. 恒温槽　エスペック　PH-402

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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