スパッタ装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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