スパッタ装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年10月
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