スパッタ装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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