スパッタ装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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