スパッタ装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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