スパッタ装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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