スパッタ装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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