スパッタ装置

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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