スパッタ装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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