スパッタ装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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