スパッタ装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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