スパッタ装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年9月
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