スパッタ装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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