スパッタ装置

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  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

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  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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