スパッタ装置

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  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2025年12月
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