スパッタ装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年1月
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