スパッタ装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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