スパッタ装置

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  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. RF電源　RFPP　RF20S

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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