スパッタ装置

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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