スパッタ装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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