スパッタ装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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