スパッタ装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年9月
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