スパッタ装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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