スパッタ装置

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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