スパッタ装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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