スパッタ装置

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  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

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  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年8月
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