スパッタ装置

  1. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  8. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  9. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年4月
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