スパッタ装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年1月
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