スパッタ装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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