スパッタ装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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