スパッタ装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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