スパッタ装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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