スパッタ装置

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  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年5月
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