スパッタ装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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