スパッタ装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年5月
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