スパッタ装置

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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