スパッタ装置

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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