スパッタ装置

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  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

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  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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