スパッタ装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年6月
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