スパッタ装置

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年5月
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