スパッタ装置

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年1月
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