スパッタ装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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