スパッタ装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年5月
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