スパッタ装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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