スパッタ装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年5月
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