スパッタ装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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