スパッタ装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年12月
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