スパッタ装置

  1. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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