スパッタ装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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