スパッタ装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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