スパッタ装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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