スパッタ装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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