スパッタ装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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