スパッタ装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
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