スパッタ装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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