スパッタ装置

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年5月
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