スパッタ装置

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  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

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  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

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  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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