スパッタ装置

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
2026年5月
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