スパッタ装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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