スパッタ装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
2026年10月
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