スパッタ装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年7月
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