スパッタ装置

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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