スパッタ装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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