スパッタ装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年12月
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