スパッタ装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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