スパッタ装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年6月
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