スパッタ装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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