スパッタ装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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