スパッタ装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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