スパッタ装置

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  2. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

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  6. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  7. 高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…

  8. 低温恒温槽 エスペック製 MC-711T

  9. 真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…

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  2. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  3. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  4. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  5. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  9. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  10. スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…

2026年5月
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