スパッタ装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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