スパッタ装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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