スパッタ装置

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年5月
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