スパッタ装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年1月
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