スパッタ装置

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年10月
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