スパッタ装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. RF電源　RFPP　RF20S
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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