スパッタ装置

  1. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年8月
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