スパッタ装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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