スパッタ装置

  1. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年5月
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