スパッタ装置

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年6月
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