スパッタ装置

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年4月
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