スパッタ装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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