スパッタ装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年6月
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