スパッタ装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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