スパッタ装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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