スパッタ装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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