スパッタ装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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