スパッタ装置

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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