スパッタ装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年5月
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