スパッタ装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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