スパッタ装置

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年5月
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