スパッタ装置

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  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

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  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

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  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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