スパッタ装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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