スパッタ装置

  1. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  2. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  3. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…

  4. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …

  6. レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

    デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…

  9. 多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…

  10. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  1. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  4. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  5. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  6. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  9. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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