スパッタ装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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