スパッタ装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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