スパッタ装置

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年5月
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