スパッタ装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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