スパッタ装置

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年10月
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