スパッタ装置

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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