スパッタ装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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