スパッタ装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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