スパッタ装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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