スパッタ装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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