スパッタ装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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