スパッタ装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年7月
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