スパッタ装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年12月
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