スパッタ装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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