スパッタ装置

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
2026年11月
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