スパッタ装置

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年6月
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