スパッタ装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年10月
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