スパッタ装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
2026年6月
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