スパッタ装置

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年5月
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