スパッタ装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年6月
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