スパッタ装置

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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