スパッタ装置

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  3. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

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  10. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

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  2. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

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  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  5. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  6. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  7. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

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