スパッタ装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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