スパッタ装置

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年6月
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