スパッタ装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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