スパッタ装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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