スパッタ装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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