スパッタ装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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