スパッタ装置

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  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

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  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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