スパッタ装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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