スパッタ装置

  1. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  2. ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…

  4. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  5. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  6. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  7. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  8. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  9. ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…

  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  1. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  2. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  3. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  6. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  7. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  8. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  10. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

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