スパッタ装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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