スパッタ装置

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  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
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