スパッタ装置

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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