スパッタ装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年5月
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