スパッタ装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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