スパッタ装置

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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