スパッタ装置

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年8月
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