スパッタ装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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