スパッタ装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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