スパッタ装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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