スパッタ装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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