スパッタ装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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