スパッタ装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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