スパッタ装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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