スパッタ装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  7. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  8. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年9月
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