スパッタ装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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