スパッタ装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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