スパッタ装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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