スパッタ装置

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  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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