スパッタ装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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