スパッタ装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年11月
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