スパッタ装置

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  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年7月
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