株式会社未来産業技術研究所
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
