CVD装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 空冷チラー（ユニットクーラー）　オリオン機械　RKS…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年10月
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