CVD装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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