CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年11月
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