CVD装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…
  5. デジタル内視鏡・TESLONG・NTS300

    デジタル内視鏡（ハンドヘルド産業用ボアスコープ）<…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2024年10月
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