CVD装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年8月
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