CVD装置
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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