マスクアライナー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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