マスクアライナー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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