マスクアライナー

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年8月
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