マスクアライナー

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
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