ディスペンサーコントローラー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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