ペースト塗布ロボット

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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