ペースト塗布ロボット

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年1月
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