ペースト塗布ロボット

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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