ペースト塗布ロボット

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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