ペースト塗布ロボット

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年1月
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