ペースト塗布ロボット

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年1月
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