ペースト塗布ロボット

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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