ペースト塗布ロボット

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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