ペースト塗布ロボット

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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