ペースト塗布ロボット

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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