ペースト塗布ロボット

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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