ペースト塗布ロボット

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年2月
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