ペースト塗布ロボット

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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