ペースト塗布ロボット

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  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

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  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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