ペースト塗布ロボット

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年2月
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