ペースト塗布ロボット

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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