ペースト塗布ロボット

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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