ペースト塗布ロボット

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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