ペースト塗布ロボット

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
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