ペースト塗布ロボット

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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