ペースト塗布ロボット

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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