ペースト塗布ロボット

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  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

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  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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