ペースト塗布ロボット

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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