株式会社未来産業技術研究所
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品名:ディスペンサーロボット メーカー:武蔵エンジニアリング 型式:SHOTMASTER 300DSs制御軸数:3軸 / XY動作範囲:3…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ダイサー ディスコ DAD522
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2