ペースト塗布ロボット

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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