ペースト塗布ロボット

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
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