ペースト塗布ロボット

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年6月
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