ペースト塗布ロボット

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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