ペースト塗布ロボット

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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