ペースト塗布ロボット

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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