ペースト塗布ロボット

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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