ペースト塗布ロボット

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年3月
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