ペースト塗布ロボット

  1. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置 日立製 E-1010

  3. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  4. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  5. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  6. 恒温恒湿槽 エスペック PL-1J

  7. ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…

  4. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  7. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  8. RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  10. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

2026年5月
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