ペースト塗布ロボット

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  6. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
2025年5月
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