ペースト塗布ロボット

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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