ペースト塗布ロボット

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年5月
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