ペースト塗布ロボット
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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