ペースト塗布ロボット
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ウルトラミクロ電子天秤 メトラートレド XP2U
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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