ペースト塗布ロボット

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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