ペースト塗布ロボット

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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