ペースト塗布ロボット

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
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