ペースト塗布ロボット

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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