ペースト塗布ロボット

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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