ペースト塗布ロボット

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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