ペースト塗布ロボット

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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