ペースト塗布ロボット

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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