ペースト塗布ロボット

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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