ペースト塗布ロボット

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年5月
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