ペースト塗布ロボット

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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