ペースト塗布ロボット

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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