ペースト塗布ロボット

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  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

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  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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