ペースト塗布ロボット

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  2. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  3. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  4. イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  8. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B

  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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