ペースト塗布ロボット

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年5月
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