ペースト塗布ロボット

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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