ペースト塗布ロボット

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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