ペースト塗布ロボット

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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