ペースト塗布ロボット

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031