ペースト塗布ロボット

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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