ペースト塗布ロボット

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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