ペースト塗布ロボット

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年4月
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