ペースト塗布ロボット
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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ダイサー ディスコ DAD522
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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