ペースト塗布ロボット

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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