ペースト塗布ロボット

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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