ペースト塗布ロボット

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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