ペースト塗布ロボット

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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