ペースト塗布ロボット

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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