ペースト塗布ロボット

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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