ペースト塗布ロボット

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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