ペースト塗布ロボット

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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