ペースト塗布ロボット

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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