ペースト塗布ロボット

  1. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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