ペースト塗布ロボット

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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