ペースト塗布ロボット

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031