VOCセンサー
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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VOCセンサー 理研計器 VOC-121H
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