走査型プローブ顕微鏡

  1. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  2. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]

  1. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
2024年11月
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