基板検査装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]
  10. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
2024年7月
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