基板検査装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  9. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  10. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]
2024年10月
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