基板検査装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年8月
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