基板検査装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年10月
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