基板検査装置

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年6月
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