基板検査装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年10月
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