基板検査装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  1. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年7月
月 火 水 木 金 土 日
 123456
78910111213
14151617181920
21222324252627
28293031