基板検査装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
2025年12月
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