基板検査装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2026年6月
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