基板検査装置

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  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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