基板検査装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年12月
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