基板検査装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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