基板検査装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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