基板検査装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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