基板検査装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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