基板検査装置

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  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

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  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

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2025年12月
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