基板検査装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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