基板検査装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年6月
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