基板検査装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031