基板検査装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728