基板検査装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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