基板検査装置

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  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

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  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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