基板検査装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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