基板検査装置

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  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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