基板検査装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年1月
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