基板検査装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年1月
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