基板検査装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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