基板検査装置

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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