基板検査装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年1月
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