基板検査装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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