基板検査装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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