基板検査装置

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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