基板検査装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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