基板検査装置

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
2026年6月
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