基板検査装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
2026年5月
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