基板検査装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年1月
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