基板検査装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年5月
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