基板検査装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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