基板検査装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728