基板検査装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年5月
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