基板検査装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年2月
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