基板検査装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年9月
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