基板検査装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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