基板検査装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年2月
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