基板検査装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. RF電源　RFPP　RF10S
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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