株式会社未来産業技術研究所
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メーカー：inspec（インスペック） 型式：SX1000未来産業技研では検査機のSDGsに積極的に取り組んでいます基板AOI（外観検査…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製 CA-3110 R…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
