基板検査装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  8. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
2026年6月
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