基板検査装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年11月
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