基板検査装置

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2025年12月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
293031