基板検査装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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