基板検査装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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