基板検査装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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