基板検査装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年5月
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