基板検査装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年3月
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