基板検査装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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