基板検査装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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