基板検査装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年12月
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