基板検査装置

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年6月
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