基板検査装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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