基板検査装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年3月
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