基板検査装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年5月
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