基板検査装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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