基板検査装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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