基板検査装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年5月
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