基板検査装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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