基板検査装置

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年2月
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