基板検査装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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