基板検査装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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