基板検査装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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