基板検査装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2025年12月
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