基板検査装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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