基板検査装置

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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