基板検査装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年4月
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