基板検査装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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