基板検査装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年3月
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