基板検査装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930