基板検査装置

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930