基板検査装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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