基板検査装置

  1. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  2. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  3. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  5. 多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…

  6. 高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  8. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  9. エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…

  10. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  1. チラー(外部開放系循環装置)・ヤマト科学・品名:クールライン・型式:CLH610

    チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  3. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  4. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  5. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  9. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

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