基板検査装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年12月
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