基板検査装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  2. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  3. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  4. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  5. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  6. マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]

  7. クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]

  8. ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …

  9. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  10. 恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114

  1. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  2. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  4. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  5. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…

  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  10. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

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