基板検査装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年4月
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