基板検査装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年12月
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