基板検査装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年1月
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