基板検査装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年12月
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