基板検査装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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