基板検査装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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