基板検査装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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