基板検査装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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