基板検査装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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