基板検査装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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