基板検査装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年5月
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