基板検査装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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