基板検査装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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