基板検査装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
2026年5月
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