基板検査装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年5月
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