基板検査装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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