基板検査装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年4月
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