基板検査装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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