基板検査装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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