基板検査装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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