基板検査装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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