基板検査装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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