基板検査装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930