基板検査装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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