基板検査装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年2月
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