基板検査装置

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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