基板検査装置

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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