基板検査装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年1月
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