基板検査装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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