基板検査装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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