基板検査装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年6月
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