基板検査装置

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  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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