基板検査装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年5月
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