基板検査装置

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  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年5月
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