基板検査装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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