基板検査装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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