基板検査装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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