基板検査装置

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  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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