基板検査装置

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年4月
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