基板検査装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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