基板検査装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年9月
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