基板検査装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]

  8. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2024年12月
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