基板検査装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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