基板検査装置

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  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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