基板検査装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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