基板検査装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

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  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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