基板検査装置

  1. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…

  4. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …

  6. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…

  8. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  9. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…

  10. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  3. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  4. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  5. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  6. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  9. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

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