基板検査装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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