基板検査装置

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  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年1月
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