基板検査装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年12月
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