基板検査装置

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年5月
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