基板検査装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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