基板検査装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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