基板検査装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年2月
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