基板検査装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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