基板検査装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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