基板検査装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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