基板検査装置

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  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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