基板検査装置

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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