基板検査装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年2月
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