基板検査装置
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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