基板検査装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年6月
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