基板検査装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2026年4月
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