基板検査装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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