基板検査装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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