基板検査装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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