基板検査装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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