基板検査装置

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. イオンコーター・日立・E-1010

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  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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