基板検査装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年12月
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