基板検査装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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