基板検査装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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