基板検査装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年12月
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