基板検査装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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