基板検査装置

  1. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年1月
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