基板検査装置

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年11月
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