基板検査装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
2026年5月
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