基板検査装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年11月
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