基板検査装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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