基板検査装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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