基板検査装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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