基板検査装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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