基板検査装置

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  1. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  4. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  5. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

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  6. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

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  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  10. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

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