基板検査装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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