基板検査装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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