基板検査装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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