基板検査装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年5月
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