基板検査装置
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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