基板検査装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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