基板検査装置

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  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

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  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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