基板検査装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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