基板検査装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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