基板検査装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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