基板検査装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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