基板検査装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年4月
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