基板検査装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年2月
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