基板検査装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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