基板検査装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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