基板検査装置

  1. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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