基板検査装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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