基板検査装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年11月
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