基板検査装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
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