基板検査装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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