基板検査装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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