基板検査装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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