基板検査装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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