基板検査装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年10月
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