基板検査装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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