基板検査装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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