基板検査装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年11月
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