株式会社未来産業技術研究所
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メーカー：inspec（インスペック） 型式：SX1000未来産業技研では検査機のSDGsに積極的に取り組んでいます基板AOI（外観検査…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KC-01B …
冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKED9…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081 –…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 …
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
