基板検査装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年11月
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