基板検査装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年5月
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