基板検査装置

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年5月
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