基板検査装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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