基板検査装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031