基板検査装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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