基板検査装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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