基板検査装置

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  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

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  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

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  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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