基板検査装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年1月
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