基板検査装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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