基板検査装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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