基板検査装置

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  2. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  3. 恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP

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  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400

  6. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

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  7. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  9. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  10. 真空オーブン ヤマト科学 ADP200

  1. RF電源 RFPP RF10S

  2. 電気マッフル炉 島津製作所 MP-15

  3. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  4. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600

  6. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  7. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  8. 露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM

  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…

  10. ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E

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