基板検査装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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