基板検査装置

  1. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…

  4. X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […

  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  6. イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…

  7. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…

  8. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  9. レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-90…

  10. マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  3. 高信頼性電源(CVCC)・菊水電子工業・PAN600-2A(M201222A01)

    高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  7. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  8. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空乾燥機 アズワン AVO-310V

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