基板検査装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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