基板検査装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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