基板検査装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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