基板検査装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年4月
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