基板検査装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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