基板検査装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
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