基板検査装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年1月
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