基板検査装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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