基板検査装置

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年12月
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