基板検査装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年12月
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