基板検査装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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