基板検査装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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