基板検査装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2025年12月
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