基板検査装置

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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