基板検査装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年3月
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