基板検査装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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