基板検査装置

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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