基板検査装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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