基板検査装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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