基板検査装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
2026年5月
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