測定器

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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