測定器

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年2月
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