測定器

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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