測定器

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  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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