測定器

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年2月
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