測定器

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年1月
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