測定器

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年5月
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