測定器

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年2月
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