測定器

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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