測定器

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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