測定器
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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