測定器

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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