測定器

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年12月
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