測定器

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年5月
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