測定器

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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