測定器

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
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