測定器

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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