測定器

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. RF電源　RFPP　RF10S
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年6月
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