測定器

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
2026年6月
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