測定器

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年12月
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