測定器

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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