測定器

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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