測定器

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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