測定器

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年1月
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