測定器

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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