測定器

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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