測定器

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年5月
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