測定器

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年6月
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