測定器

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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