測定器

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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