測定器

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. ダイサー　ディスコ　DAD522

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年5月
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