測定器

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年2月
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