測定器
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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