測定器

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
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