測定器
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空オーブン ヤマト科学 ADP200
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
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真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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