測定器

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年2月
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