測定器

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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