測定器

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年6月
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