測定器

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年12月
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