測定器

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年3月
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