測定器

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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