測定器

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  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
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