測定器

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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