測定器

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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