測定器

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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