測定器

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年4月
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