測定器

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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