測定器

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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