測定器

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年2月
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