測定器

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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