測定器

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年6月
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