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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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恒温恒湿器 エスペック LH-113 – [M241127A0…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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