MASS

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年10月
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