MASS

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年6月
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