クライオコンプレッサー

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  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

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  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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