クライオコンプレッサー

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  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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