クライオコンプレッサー

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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