クライオコンプレッサー

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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