クライオコンプレッサー

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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