クライオコンプレッサー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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