クライオコンプレッサー

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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