クライオコンプレッサー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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