クライオコンプレッサー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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