クライオコンプレッサー

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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