クライオコンプレッサー

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年5月
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