クライオコンプレッサー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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