クライオコンプレッサー

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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