クライオコンプレッサー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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