クライオコンプレッサー

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
2026年5月
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