クライオコンプレッサー

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年5月
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