クライオコンプレッサー

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  3. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

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  5. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  6. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  8. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  9. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

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