クライオコンプレッサー

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  9. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  10. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  1. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

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  3. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  4. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  9. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  10. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

2026年4月
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