クライオコンプレッサー

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2025年12月
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