クライオコンプレッサー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
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