クライオコンプレッサー

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年1月
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