クライオコンプレッサー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. 恒温槽　エスペック　PH-402

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年6月
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