クライオコンプレッサー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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