クライオコンプレッサー

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  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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