クライオコンプレッサー

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  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

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  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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