クライオコンプレッサー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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