クライオコンプレッサー

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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