クライオコンプレッサー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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