クライオコンプレッサー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2025年9月
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