クライオコンプレッサー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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