クライオコンプレッサー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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