クライオコンプレッサー

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  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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