クライオコンプレッサー

  1. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  2. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  3. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  4. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  5. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  6. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  8. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  9. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  10. クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]

  1. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  2. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  4. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  5. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  6. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  8. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  9. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  10. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

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