クライオコンプレッサー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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