クライオコンプレッサー

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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