クライオコンプレッサー

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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