クライオコンプレッサー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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