クライオコンプレッサー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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