クライオコンプレッサー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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