クライオコンプレッサー

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  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  4. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  5. 高信頼性電源(CVCC)・菊水電子工業・PAN600-2A(M201222A01)

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  6. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

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  8. 恒温恒湿槽

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  9. チラー(外部開放系循環装置)・ヤマト科学・品名:クールライン・型式:CLH610

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  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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