クライオコンプレッサー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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