クライオコンプレッサー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年1月
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