クライオコンプレッサー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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