クライオコンプレッサー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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