クライオコンプレッサー

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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