クライオコンプレッサー

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年5月
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