クライオコンプレッサー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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