クライオコンプレッサー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年11月
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