振動計

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2024年12月
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