成分分析

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年2月
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