実態顕微鏡

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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