レーザー変位計

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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