メモリーハイコーダー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年9月
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