ベーンレスポンプ

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  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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