ターボポンプ

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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