エアーシャワー

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年10月
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