エアーシャワー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年7月
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