除振台

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年10月
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