表面粗さ計

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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