表面粗さ計

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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