表面粗さ計

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  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

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  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
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