表面粗さ計

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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