表面粗さ計

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年12月
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