表面粗さ計

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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