表面粗さ計

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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