表面粗さ計

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402
2026年6月
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