表面粗さ計

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年1月
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