表面粗さ計

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年5月
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