表面粗さ計

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
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