表面粗さ計

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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