表面粗さ計

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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