表面粗さ計

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  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  8. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  9. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  10. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  1. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  2. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  4. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  5. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  6. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  7. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  8. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  9. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

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