表面粗さ計

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年7月
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