表面粗さ計

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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