表面粗さ計

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年1月
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