表面粗さ計

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  3. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

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  8. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  9. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  2. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  3. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  4. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  5. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  6. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

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