表面粗さ計

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年2月
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