表面粗さ計

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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