表面粗さ計

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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