表面粗さ計

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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