表面粗さ計

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年7月
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