表面粗さ計

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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