表面粗さ計

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年2月
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