表面粗さ計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年1月
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