表面粗さ計

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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