表面粗さ計

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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