表面粗さ計

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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