表面粗さ計

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年3月
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