表面粗さ計

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年6月
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