表面粗さ計

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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