表面粗さ計

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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