表面粗さ計

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年6月
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