表面粗さ計

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年11月
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