表面粗さ計

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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