表面粗さ計

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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