表面粗さ計

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年8月
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