表面粗さ計

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
2026年8月
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