表面粗さ計

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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