表面粗さ計

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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