表面粗さ計

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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