表面粗さ計

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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