表面粗さ計

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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