表面粗さ計

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
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