表面粗さ計

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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