表面粗さ計

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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