株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…