株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ウルトラミクロ電子天秤 メトラートレド XP2U
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…