株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2