株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
ダイサー ディスコ DAD522
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…