株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…