株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…