振動計

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年6月
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