株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000