振動計

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年1月
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