株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コント…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720