株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …