株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …