株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP