振動計

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    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

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  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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