振動計

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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