株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …