振動計

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年1月
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