振動計

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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