株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…