株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
RF電源 RFPP RF20S
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…