株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7