振動計

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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