振動計

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  7. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

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  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  10. インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…

  1. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  2. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  3. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  4. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  6. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

  9. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  10. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

2026年1月
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