振動計

  1. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
2026年6月
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