株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空乾燥機 アズワン AVO-310V