振動計

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年2月
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