株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …