株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…