振動計

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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