株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…