株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…