株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…