振動計

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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