株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100