株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…