株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…