振動計

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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