振動計

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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