株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
熱プレス機 TSK月島プラスチック Lodestar20t
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
クイックコーター サンユー電子 SC-701
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ウェハーマウンター 日東電工 M286N