振動計

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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