株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
クイックコーター サンユー電子 SC-701
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ロックインアンプ エヌエフ回路設計 5610B
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
RF電源 RF POWER PRODUCTS RF5S
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…