株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
VOCセンサー 理研計器 VOC-121H
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
クイックコーター サンユー電子 SC-701
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …