株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…