振動計

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
2026年5月
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