振動計

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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