振動計

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031