振動計

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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