振動計

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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