株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530