振動計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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