株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400