振動計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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