株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
RF電源 RF POWER PRODUCTS RF5S
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
RF電源 RFPP RF10S
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…