株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…