株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400