株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
プラズマクリーナー サムコ PC-300
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …