株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000