振動計

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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