株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050