振動計

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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