振動計

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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