振動計

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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