株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T