振動計

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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