株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…