株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2