振動計

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年9月
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