振動計

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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