株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…