株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…