振動計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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