株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM