株式会社未来産業技術研究所
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振動計、Castle Group、GA2002
振動計・PCE Instruments・VT 2700
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
パルスユニット アルバック A2KH-25
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2
連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A