引張圧縮試験機

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年7月
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