光学定盤

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2025年7月
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