光学定盤

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2024年10月
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