光学定盤

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  5. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2025年6月
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