パルスヒート

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年10月
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