パルスヒート

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  3. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
2026年10月
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