ウェハマウンター

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年10月
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