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  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

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  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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