1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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