株式会社未来産業技術研究所
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ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 …
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
