1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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