1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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