1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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