株式会社未来産業技術研究所
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…