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  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

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  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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