1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年5月
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