株式会社未来産業技術研究所
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7