1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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