1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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