1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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