株式会社未来産業技術研究所
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産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …