1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年12月
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