1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 恒温槽　エスペック　PH-402

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年7月
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