1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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