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  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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