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  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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