1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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