株式会社未来産業技術研究所
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…