1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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