株式会社未来産業技術研究所
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
スピンコーター ミカサ製 1H-360S