1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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