1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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