1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年1月
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