1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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