株式会社未来産業技術研究所
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…