1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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