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  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

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  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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