1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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