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  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
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