株式会社未来産業技術研究所
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…