株式会社未来産業技術研究所
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250