株式会社未来産業技術研究所
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000／LK-H050
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
