株式会社未来産業技術研究所
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…