1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年6月
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