1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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