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  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

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2026年3月
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