1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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