1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930