株式会社未来産業技術研究所
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]