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  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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