株式会社未来産業技術研究所
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ヒュームフード(ドラフトチャンバー)ヤマト科学 M…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…