1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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