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  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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