株式会社未来産業技術研究所
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
RF電源 RFPP RF10S
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
恒温槽 エスペック PH-402
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600