1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年12月
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