株式会社未来産業技術研究所
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…