1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
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