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  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年12月
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