1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
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