1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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