株式会社未来産業技術研究所
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
多関節産業ロボット（6軸）ファナック製 型式M-10iA…
ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
