1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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