1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 空冷チラー（ユニットクーラー）　オリオン機械　RKS…
2025年10月
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