1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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