真空デシケーター

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  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

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  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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