ドライポンプ

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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