ドライポンプ

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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