ドライポンプ

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
2026年6月
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