ドライポンプ

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年6月
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