ドライポンプ

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年5月
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