ドライポンプ

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  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

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  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

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  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年6月
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