ドライポンプ

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年6月
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