ドライポンプ

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年6月
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