ドライポンプ

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  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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