ドライポンプ

  1. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
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