ドライポンプ

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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