ドライポンプ

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  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

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  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年6月
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