ドライポンプ

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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