ドライポンプ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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