ドライポンプ

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  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

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  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
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