ドライポンプ

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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