恒温恒湿槽

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  9. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年4月
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