恒温恒湿槽

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年11月
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