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純水製造装置・洗浄機
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ドライ真空ポンプ(空冷式)荏原製作所製<br>型式:PDV250
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電気マッフル炉 ヤマト科学製<br>型式:FO200
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真空蒸着装置 アルバック製<br>型式:VPC-410A (M200312A02)
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分光エリプソメーター 大塚電子<br>型式:FE-5000 (M210108A07)…
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クライオコンプレッサー 鈴木商館製<br>型式:C300K (M201116A01)
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1030(M220408A04)
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ターボ分子ポンプ ファイファー製<br>型式:TMH521P (M200707A04)
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凍結乾燥装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JFD-310
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高圧蒸気滅菌器(オートクレーブ) アルプ製<br>型式:CLS-32L
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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オイルバス(恒温油槽)トーマス科学製<br>型式:T-300
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (M210320A04)