キャパシタンスマノメーター

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402
2026年6月
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