2023年 8月
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バイポーラ電源 KEPCO製-東陽テクニカ BOP500M-[M210717A01]
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メモリーハイコーダー HIOKI製 8855-[M211218A10]
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 M26107/M25-10/MWP-A30XCA
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2502-[M230622A05]
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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ピラニー真空ゲージ アルバック製 GP-2A-[M220117A04]
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真空ゲートバルブ アルバック製(ulvac)VUGP-40
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M221221A04]
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) Model.1020-[M230725A02]
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スピンコーター ミカサ製 MS-A100-[M230703A01]