スクロールポンプ・アルバック(Ulvak)・DIS-501
スクロールポンプ・アルバック(Ulvak)・DIS-501

スクロールポンプ


メーカー:アルバック(Ulvak)  型式:DIS-501                                


  • 大排気量でコンパクトサイズ。
  • ドライ型真空ポンプとしては最高レベルの到達圧力。
  • 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵(単相用)による安全設計。
  • エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止。

下記のアルバック様ホームページをご覧ください。
https://ulvac-kiko.com/product.php?action=detail&category=1&ID=DIS-501                                                                                                                                         

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商品紹介:半導体製造装置、真空装置、ポンプ、計測器