2021年 5月

  1. スクロールポンプ

    スクロールポンプ・エドワーズ・ESDP12
    (M210114A18)

    • 真空ポンプ
  2. ターボ分子ポンプ

    ターボ分子ポンプ・セイコー精機・STP-251S
    (M200410A02)

    • 真空ポンプ
  3. ヘリウムリークディテクター

    ヘリウムリークディテクター・ファイファー・HLT570
    (M210416A01)

    • 真空装置
  4. カーボンコーター

    カーボンコーター・真空デバイス・VC-100
    (M210408A03)

    • 真空装置
  5. プラズマCVD装置

    プラズマCVD装置・サムコ・PD-220
    (M210320A10)

    • 真空装置
  6. 真空蒸着装置

    真空蒸着装置・JEOL(日本電子)・JEE-420T
    (M201126A01)

    • 真空装置
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着イオンスパッタ共用装置・サンユー電子・SVC-720(M200316A04)

    • 真空装置
  8. チラー

    チラー(冷却水循環装置)・EYELA(東京理化機械)・CA-1115(M200408A04)

    • ユーティリティ設備
  9. RF電源

    RF電源・アステック・ARF-1053(M210320A06)

    • 真空コンポーネント
  10. EB電源

    EB電源・日新技研・NEB-10W(M210108A25)

    • 真空コンポーネント