2021年 5月

  1. 電子線マイクロアナライザー（EPMA）

    電子線マイクロアナライザー（EPMA）島津製
    型式：EPMA-1600 （M210325A01）
  2. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡）
    キーエンス製　型式：VE-8800 （M201211A01）
  3. FIB装置（集束イオンビーム装置）・SII・SMI9200IW

    FIB装置（集束イオンビーム装置）SII製
    型式：SMI9200IW （M200131A01）
  4. スクロールポンプ

    スクロールポンプ　エドワーズ製
    型式：ESDP12 （M210114A18）
  5. ターボ分子ポンプ

    ターボ分子ポンプ　セイコー精機製
    型式：STP-251S （M200410A02）
  6. ヘリウムリークディテクター

    ヘリウムリークディテクター　ファイファー製
    型式：HLT570 （M210416A01）
  7. カーボンコーター

    カーボンコーター　真空デバイス製
    型式：VC-100 （M210408A03）
  8. プラズマCVD装置

    プラズマCVD装置　サムコ製
    型式：PD-220 （M210320A10）
  9. 真空蒸着装置

    真空蒸着装置　JEOL製（日本電子）
    型式：JEE-420T （M201126A01）
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製
    型式：SVC-720 （M200316A04）
  11. RF電源

    RF電源（プラズマ電源）アステック製
    型式：ARF-1053 （M210320A06）
  12. EB電源

    EB電源（電子ビーム・電子銃電源）日新技研製
    型式：NEB-10W （M210108A25）

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